群小检测

检测项目

1. 尺寸精度检测：测量公差范围±0.01mm至±50μm级特征尺寸

2. 表面粗糙度分析：Ra值0.05-1.6μm的三维形貌表征

3. 成分均匀性测试：元素含量偏差≤0.5wt%的微区EDS分析

4. 力学性能评估：微牛级载荷下的弹性模量(0.1-500GPa)与硬度(HV0.01-HV0.5)

5. 微观结构观测：50nm分辨率下的晶粒尺寸与相分布解析

检测范围

1. MEMS器件：加速度计/压力传感器芯片的悬臂梁结构

2. 微注射成型件：医疗导管接头/光纤连接器精密部件

3. 纳米涂层材料：5-200μm功能性镀层的结合强度

4. 微型电子元件：0201封装电阻/IC引线键合点

5. 生物医用植入体：人工耳蜗电极阵列/血管支架网格

检测方法

ASTM E2934-17微试样拉伸试验标准

ISO 14577-1:2015仪器化压痕测试规程

GB/T 34879-2017微纳米压入硬度检验方法

ISO 4287:1997表面粗糙度轮廓法测量标准

GB/T 17394.1-2014金属覆盖层厚度测定方法

检测设备

1. Mitutoyo CRYSTA-Apex S5746三坐标测量机：配备φ0.3mm红宝石测头，实现±0.25μm重复精度

2. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：1200万像素CCD搭配20×物镜，垂直分辨率0.1nm

3. Shimadzu MCT-510微力试验机：0.001-500N载荷范围，位移分辨率1nm

4. Hitachi SU5000场发射电镜：1nm分辨率下进行能谱面扫描分析

5. Fischer XDV-SDD镀层测厚仪：适用Φ0.3mm点位的多层膜厚测量

6. Keysight G200纳米压痕仪：最大载荷500mN，热漂移＜0.05nm/s

7. Olympus LEXT OLS5000激光显微镜：120nm横向分辨率的3D形貌重建

8. Malvern Mastersizer 3000粒度仪：10nm-3.5mm粒径范围的动态光散射分析

9. Agilent 7900 ICP-MS：ppt级微量元素定量分析系统

10. Zwick Roell HMU显微硬度计：10gf-2kgf载荷范围的自动压痕测量