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碳化钨涂层SEM形貌检测

作者:小编 发布时间:2025-06-19 15:23:42 次浏览

碳化钨涂层SEM形貌检测

碳化钨涂层SEM形貌检测.png

检测项目

表面形貌特征:

孔隙率分析:孔径分布(0.1-50μm)、孔隙密度(≤3%/cm²,参照ISO14916)

缺陷表征:微裂纹长度(≤10μm)、剥落坑深度(SEM-EDS联用)

粗糙度量化:Ra值(0.05-5μm范围,三维重建分析)

截面结构分析:

涂层厚度:均匀性偏差(±5%),梯度层测量(精度0.1μm)

界面结合状态:扩散层厚度(0.5-10μm)、界面孔隙率(≤1%)

层状结构:单层厚度偏差(≤0.3μm)

颗粒分布特性:

WC颗粒尺寸:粒径分布(0.2-5μm)、团聚率(≤8%)

粘结相分布:Co/Ni相连续性(覆盖率≥95%)

异相夹杂:氧化物夹杂尺寸(≤200nm)

结晶状态评估:

晶粒形貌:等轴晶/柱状晶比例(EBSD分析)

相转变检测:W₂C异常相含量(≤5vol%)

结晶取向:择优取向角偏差(±5°)

热损伤分析:

热裂纹网络:裂纹密度(≤2条/mm)

氧化层厚度:表面氧化物厚度(≤0.5μm)

元素扩散:Co/W界面互扩散区(≤1.5μm)

力学关联特性:

结合强度关联:界面裂纹萌生点定位

耐磨性预测:硬质相突出高度(0.1-1μm)

残余应力表征:微区裂纹走向分析

沉积工艺缺陷:

未熔颗粒:球化颗粒比例(≤3%)

层间污染:界面夹杂物尺寸(≤100nm)

柱状晶异常生长:晶粒长径比(≤8:1)

腐蚀行为研究:

腐蚀起始点:点蚀坑位置关联微观结构

选择性腐蚀:粘结相腐蚀深度(≤0.2μm)

腐蚀产物形貌:氧化物形貌分类分析

高温性能表征:

热循环裂纹:热震后界面分离宽度(≤0.5μm)

元素重分布:高温扩散区成分梯度

涂层失效分析:

磨损失效源:磨痕微观剥落机制

疲劳断裂:裂纹扩展路径分析

分层失效:界面剥离形貌分类

检测范围

1.热喷涂碳化钨涂层:HVOF/HVAF制备WC-10Co4Cr体系,重点检测未熔颗粒率及氧化夹杂

2.气相沉积硬质涂层:PVD/CVD制备纳米晶WC涂层,侧重柱状晶结构及界面扩散层

3.梯度功能涂层:WC/金属多层结构,分析层间互扩散及成分过渡连续性

4.复合改性涂层:WC掺杂TiC/TaC涂层,检测异相分布均匀性及晶界偏聚

5.纳米结构涂层:超细晶WC-Co涂层(晶粒≤200nm),表征晶界密度及异常长大

6.重熔处理涂层:激光重熔WC涂层,分析熔池凝固组织及枝晶形态

7.烧结硬质合金:YG类合金表面涂层,检测烧结孔隙率及WC/Co界面润湿性

8.刀具涂层:铣刀/钻头WC基涂层,评估刃口涂层完整性及微崩缺

9.轴件耐磨涂层:液压柱塞WC涂层,侧重厚度均匀性及表面微裂纹

10.航空部件涂层:涡轮叶片WC防护层,检测高温热震后界面退化

检测方法

国际标准:

ISO14916:2017热喷涂涂层孔隙率金相评估法

ASTME2809-22扫描电镜图像孔隙分析标准

ISO2063-2:2017热喷涂涂层厚度测量

ASTME766-14扫描电镜校准规范

ISO22262-2:2014材料显微结构定量分析

国家标准:

GB/T23415-2023硬质涂层截面显微分析方法

GB/T34892-2017微纳米尺度材料扫描电镜检测

GB/T38881-2020热喷涂涂层界面结合强度测试

GB/T41998-2022涂层表面缺陷机器视觉检测

GB/T35086-2018材料微观形貌定量分析通则

方法差异说明:ISO14916孔隙率检测采用阈值分割法,GB/T23415则要求结合能谱面扫;ASTME2809规定2000倍基准放大倍率,国标按涂层类型分级设定倍率。

检测设备

1.场发射扫描电镜:ZEISSGeminiSEM500(分辨率0.8nm@15kV,探头束流10pA-20nA)

2.能谱仪:OxfordUltimMax170(探测面积170mm²,元素范围B-U)

3.离子束切割仪:LeicaEMTXP(加速电压0.1-30kV,定位精度±50nm)

4.截面抛光仪:BuehlerVibroMet2(振动频率50Hz,粒度0.05μm金刚石悬浮液)

5.三维形貌重建系统:AliconaInfiniteFocusG5(垂直分辨率10nm,XYZ重复定位精度0.12%)6.电子背散射衍射仪:BrukereFlashXS(角分辨率0.1°,扫描速度3000点/秒)

7.低温断裂仪:QuorumPP3010T(液氮冷却至-196℃,断面制备)

8.磁控溅射仪:QuorumQ150TES(镀层厚度0-30nm可调,导电层制备)

9.纳米操纵系统:KleindiekMM3A-EM(定位精度2nm,原位拉伸测试)

10.聚焦离子束电镜:ThermoScientificHelios5HX(离子束分辨率4nm,Ga+源)

11.环境控制腔室:KammrathWeissTEMP-stage(温度范围-170~1200℃,原位加热/冷却)

12.共聚焦激光显微镜:KeyenceVK-X3000(405nm激光,12nmZ轴分辨率)

13.X射线显微CT:ZeissXradia620Versa(分辨率0.7μm,最大样品直径240mm)

14.原子力显微镜:BrukerDimensionIcon(扫描范围90μm,分辨率0.2nm)

15.动态力学分析模块:KammrathWeissnanoDMAIII(载荷范围0-500mN,频率0.1-200Hz)